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5N高純熱解氮化硼產(chǎn)品及其應(yīng)用

信息來源:本站 | 發(fā)布日期: 2021-01-20 08:18:05 | 瀏覽量:964533

摘要:

熱解氮化硼英文名為PyrolyticBoron Nitride,簡稱為Pyrolytic BN或PBN,也稱為Chemicalvapour-deposited Boron Nitride、ChemicalVapour-deposition of BoronNitride或CVD-BN等。顧名思義這是一種通過化學(xué)氣相沉積法通過高溫?zé)峤夥磻?yīng)制備獲得的一種氮化硼。它在高溫、高…

熱解氮化硼英文名為PyrolyticBoron Nitride,簡稱為Pyrolytic  BN或PBN,也稱為Chemicalvapour-deposited Boron Nitride、ChemicalVapour-deposition of BoronNitride或CVD-BN等。顧名思義這是一種通過化學(xué)氣相沉積法通過高溫?zé)峤夥磻?yīng)制備獲得的一種氮化硼。它在高溫、高真空條件下,由氨和硼的鹵化物進行化學(xué)氣相沉積(CVD)而成,既可以沉積成PBN薄板材料,也可以直接沉積成管、環(huán)或薄壁容器等PBN最終產(chǎn)品。屬于六方晶系。熱解氮化硼的主要特點是純度非常非常非常高,可達到99.999%以上,(熱壓氮化硼通常只有約99%的純度)在許多尖端材料制備領(lǐng)域有著不可替代的作用。
材料特點
它與普通的熱壓氮化硼(BN)不同,不必經(jīng)過傳統(tǒng)的熱壓燒結(jié)過程,不添加任何燒結(jié)劑,因此獲得的產(chǎn)品具有如下顯著特點:
1、無毒、無味;2、純度高,達到99.999%以上;3、室溫下與酸、堿、鹽及有機試劑不反應(yīng),在熔融的鹽、堿液中略腐蝕,但能抗高溫下各種酸的腐蝕;4、與大多數(shù)熔融金屬、半導(dǎo)體及其化合物不反應(yīng);5、在1000℃以下,抗氧化性能良好;6、抗熱震性能良好,2000℃投入水中未見裂紋;7、使用溫度高,無升華點,在3000℃以上直接分解為B和N;8、電阻高,電絕緣性能好;9、表面光滑,無氣孔,與大多數(shù)半導(dǎo)體熔體不濕潤。
應(yīng)用領(lǐng)域
熱解氮化硼(PBN)材料具有高純度、化學(xué)惰性以及優(yōu)異的結(jié)構(gòu)和性能使其成為元素提純、化合物及化合物半導(dǎo)體晶體生長的理想容器,同時還廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、化工、特種冶金、醫(yī)療等各個領(lǐng)域。
1、GaAs、InP單晶生長容器
化合物半導(dǎo)體單晶(比如GaAs、InP等)的生長需要極其嚴格的環(huán)境,包括溫度、原料純度以及生長容器純度等。PBN是目前化合物半導(dǎo)體單晶生長用最為理想的容器,無可替代?;衔锇雽?dǎo)體單晶生長方法目前主要有液封直拉法(LEC)、水平布里曼法(HB)和垂直布里曼法(VB和VGF)等方法,對應(yīng)的PBN有LEC坩堝、VB坩堝和VGF坩堝等等;
注:VGF是目前國際上生長GaAs和InP等化合物半導(dǎo)體單晶的主流技術(shù)。而熱解氮化硼VGF坩堝則是垂直梯度凝固法(VGF)生長化合物單晶的容器。熱解氮化硼坩堝制備原理:利用化學(xué)氣相淀積技術(shù),根據(jù)產(chǎn)品的需要,可選用不同的芯模做成各種形狀,生成的物質(zhì)(六方氮化硼)覆蓋在芯模上即涂層,脫模取下就是高純的殼體,即所需的坩堝。

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